壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。 壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列應(yīng)用： 1、電子顯微鏡原位納米探針臺。 2、半導(dǎo)體芯片檢測。 3、光刻機工件臺。 4、微生...

壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的Z小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導(dǎo)體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。 壓電納米位移臺優(yōu)勢： 1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。 2、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向...

今天卓聚科技小編來給大家介紹一下等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)。 1、等離子體增強化學(xué)氣相沉積的主要過程 等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。由于PECVD技術(shù)是通過應(yīng)氣體放電來制備薄膜...

等離子體增強化學(xué)氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD) 等離子體增強化學(xué)氣相沉積-制取方法 在沉積室利用輝光放電使其電離后在襯底上進行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法。等離子體增強化學(xué)氣相沉積是：在化學(xué)氣相沉積中，激發(fā)氣體，使其產(chǎn)生低溫等離子體，增強反應(yīng)物...

壓電納米位移臺是通過壓電馬達驅(qū)動控制的電動位移臺，不同于傳統(tǒng)的步進馬達，直線電機，電磁馬達等驅(qū)動形式，壓電馬達是利用逆壓電效應(yīng)的原理，通過壓電陶瓷在電場作用下（一般在共振狀態(tài)下）產(chǎn)生的形變，由摩擦耦合推動滑臺動子的運動，從而驅(qū)動平臺的位置移動。壓電納米位移臺斷電時保持自鎖，從而不消耗能量，不發(fā)熱...

納米位移臺的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？卓聚科技小編為大家介紹一下納米位移臺的應(yīng)用有哪些和組成。 納米位移臺的特點是納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等，因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，如顯微成像、激光加工（晶圓切割）、微納車削加工、圖像分辨率增強、光學(xué)檢測移相器等快速微納致動...