納米位移臺在移動過程中出現(xiàn)異響通常不是正常現(xiàn)象，應(yīng)引起重視。高精度納米位移臺設(shè)計時本應(yīng)運行平穩(wěn)、安靜，尤其是采用壓電驅(qū)動和柔性機構(gòu)的產(chǎn)品。出現(xiàn)異響通常意味著存在潛在問題或使用不當。以下是可能的原因和應(yīng)對方法：
一、常見異常響聲的可能原因
1. 機械干涉或卡滯
平臺或滑軌存在異物、灰塵、金屬屑；
安裝不當導致機構(gòu)之間干涉、卡頓；
運動范圍超限撞限位。
處理方法：
停止運行，檢查滑軌、導向系統(tǒng)是否有異物；
檢查是否超出設(shè)計行程；
確保平臺未被外部裝置壓住或卡住。
2. 驅(qū)動方式引起的摩擦聲
某些壓電步進型位移臺在運動中可能有細微“啁啾聲”或“咔噠聲”，源自“爬行”或“滑步”動作；
若聲音小且規(guī)律，可能屬于正常范圍；
若聲音突然增大、不規(guī)則或頻繁，應(yīng)警惕。
處理方法：
檢查驅(qū)動器設(shè)定參數(shù)（如步長、電壓）是否異常；
適當降低運行速度，觀察是否改善；
查看廠家說明是否說明“微響”為正常。
3. 潤滑不良
某些型號使用滾珠、滑塊等結(jié)構(gòu)，如果長時間未加潤滑油或真空脂，可能產(chǎn)生干摩擦聲；
潮濕環(huán)境或溫度變化大也可能造成潤滑退化。
處理方法：
按說明書定期維護或潤滑；
使用廠家推薦的潤滑劑（如在真空中應(yīng)選用如 Apiezon 潤滑脂）；
不建議自行拆機維護，需由專業(yè)技術(shù)人員處理。
4. 電氣噪聲或電弧聲
若聽到像“啪”“嗶”類電聲，可能為驅(qū)動器擊穿、絕緣老化或靜電放電；
高壓驅(qū)動模塊異常也可能產(chǎn)生放電響聲。
處理方法：
停止運行，檢查電纜接頭、插頭是否接觸良好；
檢查是否存在靜電或高壓放電現(xiàn)象；
建議由廠商專業(yè)人員檢修電控部分。
5. 共振或安裝不牢
平臺安裝在不穩(wěn)定、共振結(jié)構(gòu)上，運動時結(jié)構(gòu)震動發(fā)聲；
設(shè)備底座或固定螺絲松動。
處理方法：
檢查平臺是否牢固安裝；
加裝防振墊或隔振支架；
避免平臺與其他設(shè)備或工件接觸。