納米位移臺之所以須進(jìn)行防震隔振，是因?yàn)樗墓ぷ骶确浅８?，通常在納米級甚至亞納米級別，任何微小的震動都會直接干擾其正常運(yùn)行和定位精度。
下面是詳細(xì)原因解釋，幫助你從原理上理解為什么“防震”對納米位移臺至關(guān)重要：
一、納米級精度易被微振動影響
納米位移臺常用于精密掃描、定位、對準(zhǔn)、成像等工作（如在原子力顯微鏡、掃描電鏡、光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)中）。
當(dāng)位移精度要求在幾個納米以內(nèi)時(shí)，地面輕微震動、空調(diào)共振、人員走動甚至說話聲都可能引起足以干擾其工作的擾動。
二、環(huán)境振動的來源很多
地面微震：城市中的地基常常有持續(xù)的低頻微震（幾十 Hz 以下），容易傳到工作平臺上。
設(shè)備共振：周邊設(shè)備如空調(diào)、泵、壓縮機(jī)等產(chǎn)生的機(jī)械振動，通過臺面或結(jié)構(gòu)件耦合進(jìn)系統(tǒng)。
人為因素：走路、敲擊操作臺、開關(guān)門等，都會造成局部瞬時(shí)振動。
三、振動會引起的問題
定位誤差：原本需要精準(zhǔn)移動 10 nm，但因震動疊加可能偏離目標(biāo)位置；
成像模糊或重影：尤其在掃描類成像（如AFM、SEM、光學(xué)共聚焦）中會造成圖像模糊、條紋、漂移；
閉環(huán)控制不穩(wěn)定：反饋控制器會對非預(yù)期振動做出反應(yīng)，導(dǎo)致系統(tǒng)過補(bǔ)償或振蕩；
掃描誤差放大：振動會疊加在掃描信號上，出現(xiàn)“掃描偽影”或周期性誤差。
四、如何進(jìn)行防震隔振？
主動隔振平臺：內(nèi)置傳感器和反饋機(jī)構(gòu)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償震動，適合高精度場合（如 STM、AFM）。
被動氣浮隔振臺：通過氣囊和質(zhì)量塊隔離中低頻震動，常見于光學(xué)桌、位移臺支架下方。
防震腳墊、隔震橡膠：簡易場合下使用，能濾除高頻干擾；
控制環(huán)境源頭：讓設(shè)備遠(yuǎn)離震源（如機(jī)械泵），或者安排在地基穩(wěn)定、人員活動少的區(qū)域。